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詳述RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域和結(jié)構(gòu)特點

更新時間:2016-09-17    點擊次數(shù):8256
   RTP快速退火爐可用于砷化鎵、硅以及其他半導(dǎo)體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設(shè)備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩(wěn)定等特點。也可用于各種半導(dǎo)體材料的CVD工藝的熱處理。

  RTP快速退火爐用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

  RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域:

  1.離子注入/接觸退火;

  2.快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

  3.RTP快速退火爐可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;

  4.SiAu, SiAl, SiMo合金化;

  5.低介電材料;晶體化,致密化;

  6.太陽能電池片鍵合;

  RTP快速退火爐結(jié)構(gòu)特點:

  爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成,采用進口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時,升溫速度快,zui高溫度可達(dá)1050℃。

  爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動,可實現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;

  RTP快速退火爐預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司軟件,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;

  RTP快速退火爐設(shè)置超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。

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